微光學、微電子、微機械的結合產生出一類新的應用范圍很廣的器件——微型光機電系統(tǒng)(moems)，它也是機、電、光、磁、化學、傳感技術等多種技術的綜合。moems日益成為新的光學工具，已經對許多基于光學的儀器顯示出應用前景。作為moems的一種，微型光譜儀具有許多大型光譜儀所不具備的優(yōu)點，如重量輕、體積小、探測速度快、使用方便、可集成化、可批量制造以及成本低廉等，像普通光譜儀一樣微型光譜儀有著巨大的應用市場，可以應用在實驗室化學分析、臨床醫(yī)學檢驗、工業(yè)監(jiān)測、航空航天遙感等領域，因而引起了人們廣泛的興趣。

微型光譜儀的實現(xiàn)可以應用多種技術，目前常用的方法包括：采用新型濾光技術制作微型光譜儀；利用光纖的化學傳感性制成光纖探針進行光譜分析；使用微細加工制作集成式微型光譜儀等。
 

微型光譜儀的應用

隨著微型光譜儀應用測量系統(tǒng)的不斷拓展，光譜分析技術正逐步從實驗室分析走向現(xiàn)場實時檢測，其快速分析及便攜式實時應用的優(yōu)勢逐漸顯現(xiàn)出來，。依據(jù)現(xiàn)階段實際應用現(xiàn)狀，微型光纖光譜儀在以下領域得到廣泛的應用。

透射吸收測量：透射吸收測量用于測定液體或氣體中介質對作用光的吸收，依據(jù)比耳定律，吸光度正比于摩爾吸收率、光程和樣品介質濃度。

反射測量：反射測量方式分為鏡面反射和漫反射測量，在實際測量中，可以采用不同的參考白板和測量角度來進行區(qū)分。反射測量用于測定樣品的化學成分及表面顏色相關信息。

 

激光測量：根據(jù)激光光譜的特征，檢測系統(tǒng)配置高分辨率的微型光纖光譜儀，同時可用積分球或余弦校正器來衰減入射光，以避免CCD探測器的飽和。
 

氧含量測量：氧含量是通過光纖探頭熒光團的熒光強度的衰減來進行測量，應用熒光淬滅原理可以測量溶解氧或氣態(tài)氧的分壓，從而探測出環(huán)境的氧含量。
 

熒光測量：熒光測量因其光譜信號特別弱，因此需要一個高靈敏的探測器及一個率的濾光片，將樣品激發(fā)出的微弱信號光和高強度的激發(fā)光區(qū)別開來。

 

拉曼光譜測量：拉曼光譜與紅外吸收光譜同為研究物質的分子振動能級從而分析物質的組成，但相對于紅外吸收光譜，拉曼光譜的譜線較為簡單且具有*性，而且被測物不需進行前處理，因此在判斷物質組成成分時有明顯的優(yōu)勢。拉曼光譜測量系統(tǒng)特別適用于反應過程監(jiān)控、產品識別、遙感及介質中高散射粒子的判定。

 

激光誘導擊穿光譜(LIBS)測量：LIBS是一種用于固體、液體及氣體中進行實時、定性及半定量的光譜元素分析技術，其工作原理是高強度的脈沖激光聚焦在樣品表面，脈寬為10ns的激光脈沖蒸發(fā)樣品產生等離子體，隨著等離子體的冷卻，處于激發(fā)態(tài)的原子發(fā)射出元素的特征光譜，這個光譜被光纖探頭收集并傳送到光譜儀，通過光譜分析軟件中預存的樣品特征光譜進行比對分析。