一般分為兩類，一種是光柵掃描的，很少使用；另一種是邁克爾遜干涉儀掃描的，稱為傅立葉變換微型紅外光譜儀，這是目前廣泛使用的。光柵掃描的是利用分光鏡將檢測光(紅外光)分成兩束，一束作為參考光，一束作為探測光照射樣品，再利用光柵和單色儀將紅外光的波長分開，掃描并檢測逐個波長的強(qiáng)度，后整合成一張譜圖。傅立葉變換微型紅外光譜儀是利用邁克爾遜干涉儀將檢測光(紅外光)分成兩束，在動鏡和定鏡上反射回分束器上，這兩束光是寬帶的相干光，會發(fā)生干涉。相干的紅外光照射到樣品上，經(jīng)檢測器采集，獲得含有樣品信息的紅外干涉圖數(shù)據(jù)，經(jīng)過計算機(jī)對數(shù)據(jù)進(jìn)行傅立葉變換后，得到樣品的紅外光譜圖。傅立葉變換微型紅外光譜儀具有掃描速率快，分辨率高，穩(wěn)定的可重復(fù)性等特點(diǎn)，被廣泛使用。

　　

　　微型紅外光譜儀具有許多優(yōu)勢，已成為一個重要的研究熱點(diǎn)。雖然采用組裝技術(shù)可以減小光譜儀的尺寸，但由于其效率低、成本高的固有缺陷，制約了其大規(guī)模使用的可能。采用基于MEMS的一體化集成技術(shù)，則可以克服這一缺陷。雖然目前光譜儀的集成化成本較高，但隨著MEMS技術(shù)的迅猛發(fā)展，以及光學(xué)元件設(shè)計的優(yōu)化，該技術(shù)將成為光譜儀微型化的發(fā)展方向。